中西气浮主轴ABT-1000,半导体设备精加工必备

B站影视 2024-11-21 16:08 2

摘要:中西气浮主轴ABT-1000以其高速运转、高精度加工和长寿命等特点,在制造业中得到了广泛应用。该主轴采用空气轴承技术,通过空气压力使主轴在悬浮无接触状态下旋转,从而减少了机械摩擦和振动,提高了加工精度和主轴的使用寿命。

中西气浮主轴ABT-1000是一款由日本Nakanishi(中西)公司生产的精密气动主轴,以下是对其的详细介绍:

一、产品概述

中西气浮主轴ABT-1000以其高速运转、高精度加工和长寿命等特点,在制造业中得到了广泛应用。该主轴采用空气轴承技术,通过空气压力使主轴在悬浮无接触状态下旋转,从而减少了机械摩擦和振动,提高了加工精度和主轴的使用寿命。

二、主要特点

类型:气动主轴

外径:Φ40mm

最高转速:100,000转/分钟

主轴跳动精度:1μm以内

输出功率:88W

夹头:CHA组(可夹持刀具柄径范围为φ0.5~φ4.0mm)

重量:820g(或0.82kg,不同来源数据有差异,但均表示该主轴重量较轻)

轴承气压:0.55MPa(空气消耗量因具体应用而异)

涡轮空气压力:同样为0.55MPa(空气消耗量也根据具体应用有所不同)

四、应用领域

ABT-1000气浮主轴适用于对加工精度要求较高、加工速度要求较快、对表面质量要求较高的工件加工。具体应用领域包括但不限于:

半导体制造:在半导体晶圆的研磨、切割等工艺中,ABT-1000气浮主轴能够提供稳定、精确的切削性能,确保晶圆的精度和表面光洁度。

精密机械加工:可用于高光、铣削、钻孔等多种精密机械加工任务,提高加工精度和生产效率。

模具制造:在模具的精密加工中,ABT-1000气浮主轴能够提供稳定、精确的切削性能,确保模具的精度和寿命。

五、注意事项

刀具选择:ABT-1000气浮主轴适用于小直径刀具的夹持,夹持范围为φ0.5~4.0mm。在选择刀具时,需确保刀具柄径符合主轴的夹持范围。

供气要求:空气轴承主轴需要清洁干燥的空气。在供气时,需确保气压稳定且空气干燥无杂质。同时,应始终向空气轴承供气,即使在主轴停止时也需保持供气状态。

操作规范:在使用ABT-1000气浮主轴时,需遵循操作规范,避免主轴和轴承在无供气状态下旋转或更换工具/夹头,以防止损坏接触区域并妨碍其正常工作。

综上所述,中西气浮主轴ABT-1000以其高速运转、高精度加工和长寿命等特点,在制造业中发挥着重要作用。在选择和使用时,需充分了解其性能参数和应用领域,并根据实际需求进行合理的配置和操作。

来源:小圆科技每日一讲

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