摘要：始于高博会的项目签约，成于无掩模光刻的技术突破，如今志在AI芯片先进封装的广阔天地——短短数年间，河南百合特种光学研究院有限公司（以下简称百合光电）在产学研深度融合中，实现了一次次迭代升级。

本报讯 （新乡日报全媒体 记者吕晓彤 实习生 王可）始于高博会的项目签约，成于无掩模光刻的技术突破，如今志在AI芯片先进封装的广阔天地——短短数年间，河南百合特种光学研究院有限公司（以下简称百合光电）在产学研深度融合中，实现了一次次迭代升级。

近日，在百合光电生产调试车间里，技术人员正在对新一代高功率紫外光学系统进行稳定性测试。这套系统，正是在我市第二届高博会上签约的“UV-LED无掩模光刻系统”项目的延续与升级。

2019年，百合光电与英国南威尔士大学李康博士团队在高博会上签约，共同攻关“卡脖子”的光刻技术难题。在高博会推动成果转化与产学研融合的背景下，该项目顺利落地，成为“全力推进项目签约落地”号召的具体成果。

传统光刻技术依赖实体掩膜版，流程繁琐、成本高，且高端光源长期被国外垄断，制约了国内相关产业发展。而百合光电与李康博士团队合作研发的“UV-LED无掩模光刻系统”，摒弃了掩膜版，采用数字投影技术，将设计图形直接“打印”到基础电路板上。百合光电创新中心工作人员为此打了个比方：“这就像照相从胶片时代一步跨入数码时代。”

合作期间，李康博士指导团队突破了大功率多光谱UV-LED光源封装、高效耦合与功率稳定等核心技术，构建了“照度均匀性高达98%”的高均匀性照明系统。百合光电团队则在此基础上，攻克了高精度双远心UV光刻物镜等一系列关键技术。

该项目成果成功应用于光刻设备厂商，创造经济效益超3000万元，申请4项发明专利，助力电子线路板制造企业实现“更精细、更快捷、成本更低”的目标。此外，百合光电还与多家设备集成商达成战略合作，提供核心光源模组，替代进口产品，推动光刻曝光装备整机国产化进程。

基于在无掩模光刻项目中打下的技术与产业基础，百合光电目前正开展“面向AI芯片先进封装的高功率紫外光学系统关键技术研发及产业化”项目。该项目以AI芯片先进封装工艺的国产化需求为导向，聚焦高功率光源稳定性、均匀性及高端镜头高精密制造等目标，致力于构建具有自主知识产权的高功率紫外光学系统。

项目成功后，将填补我省在高端紫外光学系统领域的技术空白，并依托百合光电已有的光学元件全产业链基础，形成从精密光学元件加工到系统集成的自主能力。

“今年，我们将携手机伴侣、光场画、读写台等一系列贴近百姓生活的产品亮相第七届高博会。”百合光电总经理刘双华表示，“期待与国内外高校院所围绕高功率紫外光学系统核心技术，开展光束耦合、超精密光学元件制造等前沿技术交流，在高端光学装备国产化的道路上迈出更坚实的步伐。”

编辑：魏涛

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