摘要：智聚湾区“芯”动能，共创国产新生态。10月15日，2025湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）在深圳会展中心开幕。这场行业盛会不仅展示了最新的技术成果，更是观察国产半导体核心实力的一扇重要窗口。

智聚湾区“芯”动能，共创国产新生态。10月15日，2025湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）在深圳会展中心开幕。这场行业盛会不仅展示了最新的技术成果，更是观察国产半导体核心实力的一扇重要窗口。

在同期举行的2025年度湾芯奖颁奖盛典上，恒运昌凭借其在半导体设备核心零部件领域的全面技术突破与卓越性能表现，荣获第六届“IC 创新奖”技术创新奖。

作为国家专精特新重点“小巨人”企业，恒运昌带来的射频电源及相关核心技术成为展会焦点之一。恒运昌董事长乐卫平在展会现场介绍，此次展出的射频电源、匹配器与阻抗调整器的系列产品全部为自主研发，其输出精度及稳定性已达到国际先进水平。

国家专精特新重点“小巨人”企业恒运昌，带来射频电源及相关核心技术亮相展台。（吴家俊/图）

突破垄断：攀登等离子体射频电源系统技术高峰

半导体制造中，等离子体射频电源系统长期被国外巨头垄断。这个细分领域技术壁垒极高，涉及多学科交叉，研发周期长，且对产品一致性和稳定性要求极为严苛。

“利用低温等离子体进行薄膜沉积、刻蚀、离子注入等，在集成电路制造中被广泛应用，其突出特点是空间尺度和时间尺度跨度相当大。”乐卫平详细解释，“我们需要在直径300mm的晶圆上进行以埃为单位的微加工，时间尺度上从电子响应时间的纳秒级别一直到单种工艺的宏观分钟级别。这种技术挑战非常艰巨。”

“就像造心脏，不仅要懂结构，更要懂生命。”乐卫平如此比喻。2013年，乐卫平离开耕耘多年的工作岗位，和几位志同道合的同事共同创立恒运昌。创业初期，专业人才稀缺、资金及资源压力巨大，产品研发全部由几位初创人员承担。“但我们深知行业发展的需求，始终坚信一定要为国家、为自己做点什么。”乐卫平回忆道。

自主创新：从底层技术构建体系

但更棘手的是，射频电源系统的负载是等离子体——一个始终处于动态变化的非线性系统。恒运昌选择了一条与众不同的发展路径——不是简单地模仿国外产品，而是从底层技术入手，构建自主技术体系。

经过十余年的持续研发、不断创新和积累，开展核心技术攻关，构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术体系，形成三大基石技术和八大产品化支撑技术，实现了核心技术的完全自主可控。

恒运昌推出的CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，响应了半导体芯片制造工艺中对等离子体射频电源系统快、准、稳的核心需求。公司在国内率先研制出全数字化、高精度、高稳定性等离子体射频电源系统，为半导体设备核心零部件国产化之路铺设基石。

恒运昌展出的Aspen系列产品可支持7-14 纳米半导体制程，目前已量产。（吴家俊/图）

创新生态：从产品到标准的跨越

在恒运昌的成长历程中，创新生态的构建至关重要。截至2025年6月30日，恒运昌已累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，承担工信部、科技部三项国家级课题。弗若斯特沙利文资料显示，2024年，恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，市场份额位列第一。

“我们不仅做产品，更在做标准。”乐卫平表示。公司参与制定的多项行业标准，正在推动整个产业链的技术进步。面对未来，恒运昌已开始布局更前沿的技术领域——将大数据和人工智能成果与公司射频电源系统产品的技术相结合，促进射频电源设计技术快速迭代。

不同于单点突破，恒运昌展示的是等离子体射频电源系统全链条的协同创新成果。通过软硬件一体化设计，公司实现信号采样及处理、同步控制、快速调频等关键技术自主可控，体现国产装备在性能、供应安全及产业链自主性上的综合实力。

恒运昌的探索实践，为中国半导体产业自主创新提供了可复制的经验。公司在等离子体射频电源系统这一细分领域实现了从跟跑到并跑再到领跑的跨越。这种创新模式正在被更多的中国半导体企业借鉴，推动整个产业生态的优化升级。

相关数据显示，今年上半年，中国半导体设备进口额同比下降28%，国产半导体设备市场份额突破40%，国产替代进程正在加速。乐卫平表示，恒运昌将抓住半导体产业链国产化的历史机遇，持续开展核心技术攻关，丰富产品种类、提高技术先进性，助力国内半导体设备关键零部件的全面自主可控。（龙飘飘）

来源：中国商报一点号