摘要：聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope，简称FIB-SEM)，通常被称为双束电镜（DB,Dual Beam），是一种集成了离子束加工和电子束成像的双束显微系统，具有高分辨率的成像能力

半导体工程师 2025年04月04日 09:11 北京

聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope，简称FIB-SEM)，通常被称为双束电镜（DB,Dual Beam），是一种集成了离子束加工和电子束成像的双束显微系统，具有高分辨率的成像能力和精确的微加工能力。其在材料科学、电子工业、生命科学以及纳米技术领域存在广泛应用。

核心参数

1. 设备型号：Helios 5 CX

2. 加速电压：电子源 200V-30kV，离子源 500V-30kV；

3. 分辨率：电子束 0.6 nm，离子束 2.5nm；

4. 气体源（GIS）：Pt、W、C；离子源：Ga

5. 配备EDS、EBSD探头

6. 冷台系统，可实现液氮温度（-196°C）以上温控哦

冷台功能

FIB配备冷台的主要作用是为样品提供低温环境，以减少样品在加工或观察过程中的热损伤，避免因高温导致的样品变形或化学变化，保持样品的天然状态，同时延缓样品的污染。如电子束敏感材料（MOF、COF、杂化钙钛矿），聚合物和地质样品，半导体和超导体材料的低温象限和性能研究等。

锂金属室温FIB（左图）和冷台FIB（右图）加工示意图

FIB冷冻台

EBSD功能

EBSD可用于晶体材料的微观结构、物相分析、织构分析、取向分析、应变分析、晶粒尺寸测量以及晶界、亚晶及孪晶性质的分析。当将FIB和EBSD组合时，通过连续刻蚀样品并逐层保存EBSD，即可获得3DEBSD图像，可用于测量三维样品中的晶粒取向。‌‌

EBSD效果图展示⬆

送样要求

建议尺寸0.5cm*0.5cm，样品直径不超过5cm，高度不超过1cm，样品直径不得超过5cm。

来源于米格实验室，作者米格小编

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