半导体制造中的PFA材料与PTFE材料对比分析
在半导体制造领域，尤其是针对下一代微芯片的生产，材料的选择至关重要。随着技术节点向7纳米甚至更小尺度发展，对材料的要求也愈发严格。在众多材料中，聚四氟乙烯（PTFE）和可熔性四氟乙烯（PFA）因其优异的化学稳定性和耐腐蚀性而被广泛应用于湿法工序中。然而，在这两
在半导体制造领域，尤其是针对下一代微芯片的生产，材料的选择至关重要。随着技术节点向7纳米甚至更小尺度发展，对材料的要求也愈发严格。在众多材料中，聚四氟乙烯（PTFE）和可熔性四氟乙烯（PFA）因其优异的化学稳定性和耐腐蚀性而被广泛应用于湿法工序中。然而，在这两