OPC（Optical Proximity Correction）即光学邻近校正，是一种光刻分辨率增强技术，通过对掩膜版上图形的修正来弥补因衍射受限成像而导致的图像失真，进而提高芯片制造过程中的良率。

光刻 pangen pangen商标 2024-12-03 17:24  10