spad同轴

武汉光谷量子技术取得一种SPAD同轴型TO器件及其制作方法专利

国家知识产权局信息显示，武汉光谷量子技术有限公司取得一项名为“一种SPAD同轴型TO器件及其制作方法”的专利，授权公告号CN115513334B，申请日期为2022年9月。