安徽科惠微电子取得晶圆翻转装置专利,提高晶圆夹持稳定性 国家知识产权局信息显示,安徽科惠微电子有限公司取得一项名为“晶圆翻转装置”的专利,授权公告号 CN222749475U,申请日期为2024年1月。 专利 安徽 晶圆 安徽科惠 科惠 2025-04-18 17:41 2