清洁cvd

格力申请一种CVD反应腔体的清洁方法专利，能够高效地清洁CVD反应腔体内的沉膜

国家知识产权局信息显示，珠海格力电子元器件有限公司、珠海格力电器股份有限公司申请一项名为“一种CVD反应腔体的清洁方法”的专利，公开号CN 119776798 A，申请日期为2024年12月。