为什么走DPP这条路？很现实，LPP（局部保留投影）那头激光环节被封得死，DPP（放电产生等离子体）能绕开一部分技术封锁，哪怕不完美，起码能往前迈一步。

中芯国际 哈工大 光刻机 dpp 洪水口 2025-08-13 11:42  3