奥普托科微电子取得晶圆缺陷光学检测设备专利，实现光斑直径单维度的压缩后完成缺陷检测 国家知识产权局信息显示，北京奥普托科微电子技术有限公司取得一项名为“晶圆缺陷光学检测设备”的专利，授权公告号CN223192850U，申请日期为2024年09月。 光学 晶圆 奥普 光斑 光斑直径 2025-08-07 09:21 2
