旋涡泵

兴洋科技取得输送液化后高纯电子气体的旋涡泵专利，避免产生金属碎屑防止影响电子气体纯度

国家知识产权局信息显示，内蒙古兴洋科技股份有限公司取得一项名为“一种输送液化后高纯电子气体的旋涡泵”的专利，授权公告号CN223190635U，申请日期为2024年10月。