打破佳能垄断!中国首台纳米压印光刻系统交付! 2025年8月1日,由璞璘科技自主设计研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备顺利通过验收并交付至国内特色工艺客户。 光刻 佳能 压印 纳米压印 压印光刻 2025-08-05 14:44 2