在集成电路制造领域，洁净厂房的防微振设计是确保芯片良率的关键因素之一。随着工艺节点不断缩小至12英寸晶圆甚至更先进制程，对振动控制的要求已达到纳米级精度。通过实际案例分析，合洁科技电子净化工程公司跟大家一起探讨下现代芯片工厂如何应对这一挑战。

芯片 集成电路 集成电路芯片 净化车间 芯片净化车间 2025-06-28 15:31  2