泽列诺格勒纳米技术中心 (ZNTC) 和 Planar已完成俄罗斯首台支持 350nm 级工艺技术（0.35 微米）的光刻系统的开发。白俄罗斯 Planar 公司协助完成了这一开发。该机器已通过官方检查，正在泽列诺格勒进行集成试验。尽管具有象征意义，但该系统的

俄罗斯 asml 光刻机 首台350nm 350nm光刻机 2025-03-30 11:35  2