数读科创板IPO|恒运昌:拟募资15.5亿元 拓荆科技为第一大客户兼股东 恒运昌作为半导体设备核心零部件供应商,主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。 等离子体 股东 ipo 募资 恒运 2025-06-18 00:12 2