半导体集成电路制造的环境要求
半导体集成电路制造工艺是一个复杂且精细的过程,其中对制造环境的要求极高,特别是为了控制沾污,制造过程通常在净化间(也称为超净间)内进行。本文
半导体集成电路制造工艺是一个复杂且精细的过程,其中对制造环境的要求极高,特别是为了控制沾污,制造过程通常在净化间(也称为超净间)内进行。本文
近日,业内头部CIM/MES解决方案领先提供商上扬软件获得数千万元的资金注入,用于12 英寸集成电路生产线全自动智能化 MES (制造执行系统)工业软件的深度研发产业化,加速CIM/MES(计算机集成制造系统/制造执行系统)软件在集成电路先进制造领域的国产化进