美国俄亥俄州立大学（OSU）就利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）提高氧化镓（β-Ga2O3）外延的生长速度进行了报告 [Dong Su Yu et al, Appl. Phys. Lett., v125, p242106 2024]。研究团队特别研究了改变

氧化镓 mocvd mocvd生长 2025-01-24 14:25  4