浙江中科尚弘离子装备工程申请用于离子注入机引出抑制机构专利,实现对离子束的三维空间精确控制 国家知识产权局信息显示,浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请一项名为“用于离子注入机的引出抑制机构”的专利,公开号 CN 119275080 A,申请日期为2024年12月。 中科 离子束 尚弘 2025-01-22 16:03 3