周圣军指导了这项研究，他表示：“我们发现，所提出的前驱体调控策略，包括降低TMAl和TMGa的流速同时保持Al/Ga的比例，可以提高所生长p-AlGaN中的Al含量，并最大限度地减少碳杂质的掺入。因此，我们实现了1016cm-3超低碳浓度的p-Al0.8Ga0

led duvled duv 2025-01-20 13:38  3