中国科学院刘锡：“芯”系祖国倾力微纳
微纳器件因具有高集成度与高功能性，被广泛用于航空航天、生物医学、新型材料等领域，极大地推动了现代科学技术的发展。与微纳器件对应的微纳加工技术，在全球缺“芯”的现状下，已经成为备受关注的研究领域，相关高端装备与技术的研发也是当前我国发展战略的重要内容之一。
微纳器件因具有高集成度与高功能性，被广泛用于航空航天、生物医学、新型材料等领域，极大地推动了现代科学技术的发展。与微纳器件对应的微纳加工技术，在全球缺“芯”的现状下，已经成为备受关注的研究领域，相关高端装备与技术的研发也是当前我国发展战略的重要内容之一。