检漏原理

科普：氦质谱检漏仪的检漏原理

密封性对于各类设备和容器至关重要。以真空设备为例，如真空镀膜机、液晶注入机、PVD设备以及半导体外延设备等，这些设备需在真空环境下运行。一旦空气渗入工作腔体，不仅会导致生产流程受阻，还会产生次品，造成资源浪费。