金刚石抛光技术研究进展
金刚石以优异的性能在力学、光学、热学和电子学(如半导体)等领域发挥着重要作用。 在半导体、散热等领域,仅2023年金刚石的市场规模达到数亿美元的增幅,且火热程度仍将持续。
金刚石以优异的性能在力学、光学、热学和电子学(如半导体)等领域发挥着重要作用。 在半导体、散热等领域,仅2023年金刚石的市场规模达到数亿美元的增幅,且火热程度仍将持续。
在半导体制造工艺中,化学机械抛光——Chemical-mechanical polishing,CMP技术在单晶硅衬底和多层金属互连结构的层间全局平坦化等方面得到了广泛应用,成为制造主流芯片的关键技术之一。
国家知识产权局信息显示,旺宏电子股份有限公司申请一项名为“存储器元件的制造方法”的专利,公开号CN 119677107 A,申请日期为2023年9月。
近日,浙江省经济和信息化厅、浙江省财政厅联合公布2024年度浙江省首台(套)装备名单,临安区再添3个,其中国内首台套1个,省内首台套2个,截至目前,杭州市临安区累计各类首台套装备达到78个。