减薄砂轮

晶圆减薄砂轮主要用于晶圆加工过程中金刚石减薄砂轮为市场主流

晶圆减薄砂轮，指通过高速旋转并沿轴向进给来实现晶圆减薄工艺的工具。晶圆减薄砂轮需具备加工精度高、对晶圆损伤小、耐磨性好、硬度高等特性，在晶圆制造领域拥有广阔应用前景。