电子束

聚焦离子束(FIB)技术:半导体量产中的高精度利器

聚焦离子束(FIB)技术是一种先进的纳米加工和分析工具。其基本原理是在电场和磁场作用下,将离子束聚焦到亚微米甚至纳米量级,通过偏转和加速系统控制离子束扫描运动,实现微纳图形的监测分析和微纳结构的无掩模加工。与传统的光刻技术不同,FIB无需掩模,直接在材料上进行

铣削 半导体 电子束 fib 离子束 2025-06-09 22:05  4

中国科学家首次用激光在实验室产生μ子

激光器打出高能电子束,电子束轰击金属靶,一束全新的μ子源诞生了。这是人类首次在激光实验室里造出这种神秘粒子。5月29日《自然·物理学》刊登了中国工程物理研究院、广东实验室、中国科学院等机构研究团队的突破:他们用超短超强激光,实现了μ子的高效产生,产量达到每入射

科学家 实验室 激光 电子束 bh 2025-05-30 09:57  5

电子束光刻机将用于芯片量产?

近日,一些媒体报道了英国部署电子束光刻机相关的新闻,并号称打破ASML的EUV技术垄断。部分报道甚至号称这是全球第二台电子束光刻机,能绕过ASML。实际上当前没有任何信息表面该电子束曝光机可以用于5nm制程的芯片量产的光刻环节。在这些媒体的报道中,英国似乎已经

芯片 asml 电子束 光刻机 电子束光刻机 2025-05-27 18:27  5

带你了解什么是透射电镜?

透射电镜是基于电子束与超薄样品相互作用。它利用电子加速枪产生高能电子束,经过电磁透镜聚焦和准直后照射到超薄样品上。样品中不同区域的原子对电子的散射和吸收程度不同,导致透过样品后的电子束强度分布发生变化。这些变化的电子束投射到荧光屏或探测器上,形成具有不同明暗对

电子束 碳纳米管 透射电镜 电子枪 减薄 2025-05-19 14:39  5

2030全球与中国电子束加工市场现状及未来发展趋势

电子束加工系统,通常缩写为EBP系统,是一类先进的技术解决方案,专门用于对材料进行精确而受控的高能电子应用。这些系统因其能够实现高度局部化的修改而不引起显著的热效应,从而保持处理材料的完整性,在广泛的工业和研究领域中发挥着重要作用。从本质上讲,电子束加工系统是

电子束加工 电子束 uk 2024-11-20 14:49  5