聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)的用途
FIB-SEM系统通过聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)两种互补技术,实现了材料的高精度成像与加工。FIB技术利用电透镜将液态金属离子源产生的离子束加速并聚焦,作用于样品表面,可实现纳米级的铣削、沉积、注入和成像操作。这种技术能够对样品进行精确的微
FIB-SEM系统通过聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)两种互补技术,实现了材料的高精度成像与加工。FIB技术利用电透镜将液态金属离子源产生的离子束加速并聚焦,作用于样品表面,可实现纳米级的铣削、沉积、注入和成像操作。这种技术能够对样品进行精确的微
扫描电子显微镜(SEM)是一种在学术界和工业界都非常流行的技术,用于分析各种材料的表面形貌。它要求在非导电样品上沉积像金这样的金属薄膜,以防电荷积聚影响成像效果。但是,金膜溅射沿垂直方向的不连续和自身纳米晶粒结构,导致SEM图像不能提供沿样品垂直方向的信息也不