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光峰科技申请光纤式干涉曝光系统及干涉曝光调整方法专利，保证光栅角度的一致性和均匀性及良好成像效果

金融界 2025 年 5 月 16 日消息，国家知识产权局信息显示，深圳光峰科技股份有限公司申请一项名为“光纤式干涉曝光系统及干涉曝光调整方法”的专利，公开号 CN119987143A，申请日期为 2023 年 11 月。