离子源

北方华创进军离子注入设备市场

3月26日,在SEMICON China 2025大会上,北方华创正式宣布进军离子注入设备市场,并发布首款离子注入机Sirius MC 313。此举标志着北方华创正在半导体核心装备的战略布局上又迈出了重要一步,基本覆盖了除光刻之外的所有半导体前道制造设备。

sirius 华创 分析器 离子源 束流 2025-03-26 22:52  2

铱合金报废背后的价值:铱废料、铱合金的回收

在高科技与精密制造领域,铱合金以其独特的物理和化学性质,扮演着举足轻重的角色。这种合金不仅拥有极高的密度、硬度和耐腐蚀性,还具备出色的热稳定性和电导率,因此被广泛应用于多个关键领域。比如,铂铱合金就是高端实验室仪器的宠儿,常被用来制造那些需要承受极端条件、保持

铱合金 关键部件 离子源 密封件 铱合金部件 2025-03-25 16:38  3

离子注入工艺参数

掺杂离子的整体浓度主要受注入剂量的影响。剂量由束流密度(即单位面积上的离子数量)和注入时间的乘积决定,其具体范围与离子注入设备的性能密切相关。通常,中束流/高能注入机的剂量范围在1011 ~1014cm-2。高束流注入机则在1014~1016cm-2之间,剂量

工艺参数 工艺 离子源 2025-01-19 11:03  8