杭州欧诺半导体申请基于PID控制算法的炉管加热控制系统专利，显著提升加热控制精度和稳定性
国家知识产权局信息显示，杭州欧诺半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于PID控制算法的炉管Heater加热控制系统”的专利，公开号 CN 119087788 A，申请日期为 2024年10月。
欧诺
国家知识产权局信息显示，杭州欧诺半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于PID控制算法的炉管Heater加热控制系统”的专利，公开号 CN 119087788 A，申请日期为 2024年10月。