摘要：金融界 2025 年 3 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司取得一项名为“一种用于去除 TEOS 液体中 He 气的脱气系统及半导体工艺系统”的专利，授权公告号 CN 222677256 U，申请日期为 2024 年 4 月。

金融界 2025 年 3 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司取得一项名为“一种用于去除 TEOS 液体中 He 气的脱气系统及半导体工艺系统”的专利，授权公告号 CN 222677256 U，申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种用于去除 TEOS 液体中 He 气的脱气系统及半导体工艺系统，脱气系统包括加热部件、连通部件、震荡部件、第一气体过滤部件和第二气体过滤部件。其优点在于，通过将液态源设备、加热液源设备与加热部件连通，实现对液态源的加热，便于液态源含有的气体的溢出；通过将震荡部件设置在连通部件，震荡部件的震动带动连通部件的震动，可将溶解在液态源内的气泡浮于液态源的表面，便于气体的溢出；通过将连通部件和第一气体过滤部件连通，通过将液态源通过加热、震荡所溢出的气体经由过滤板上的滤膜扩散；通过将第一气体过滤部件与第二气体过滤部件连通，使得液态源种的游离态气体和溶解态气体由 PFA 滤膜释出，以完成对液态源的脱气作业。

天眼查资料显示，上海良薇机电工程有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事建筑安装业为主的企业。企业注册资本1000万人民币，实缴资本600万人民币。通过天眼查大数据分析，上海良薇机电工程有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息74条，此外企业还拥有行政许可8个。

来源：金融界