摘要:国家知识产权局信息显示,苏州和林微纳科技股份有限公司申请一项名为“一种MEMS探针”的专利,公开号CN 119044723 A,申请日期为2024年7月。
金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,苏州和林微纳科技股份有限公司申请一项名为“一种MEMS探针”的专利,公开号CN 119044723 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明提供了一种MEMS探针包括头部、基部及悬臂。头部包括与待检测产品的电极端子接触的接触部及设置于所述接触部一侧的用于CCD识别的识别部,所述识别部设置于悬臂侧。所述悬臂包括由基部在水平向上延伸形成与所述接触部连接的悬臂梁;所述悬臂梁与接触部的连接固定点与所述悬臂梁与所述基部的连接固定点之间设置有高度差,所述悬臂与所述基部之间呈一体化。本发明的有益效果体现在:本发明的探针提高了CCD识别时的精度和准确度,同时,有效的控制了与PAD接触面,从而减少损坏待检测半导体电路的概率。
来源:金融界
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