摘要：来自俄罗斯新西伯利亚的Optical Technologies公司的专家在俄罗斯开发了第一台用于微电路生产的紫外线光掩模激光系统。

据www1.ru网站5月27日报道，来自俄罗斯新西伯利亚的Optical Technologies公司的专家在俄罗斯开发了第一台用于微电路生产的紫外线光掩模激光系统。

紫外线光掩模技术允许用户聚焦紫外线辐射，将特定图案刻印于硅晶片表面。据悉，该系统包括一个10-30毫瓦的激光器和一个将辐射增加到15瓦的光纤放大器。开发人员介绍称，原型机的一个重要特点是它的能源效率——该系统仅消耗1瓦。这使用户可以通过在工业企业中大量使用该设备来降低成本。

开发人员称：这款俄罗斯国产系统有望取代美国Coherent的专用激光器，其工作波长为 257纳米——以前俄罗斯没有这些设备的国内类似物。

（编译：史天阳）

来源：邮电设计技术