摘要：国家知识产权局信息显示，眉山琏升光伏科技有限公司取得一项名为“一种用于磁控溅射靶材更换的工作舱”的专利，授权公告号 CN 222182422 U，申请日期为2024年4月。

金融界2024年12月23日消息，国家知识产权局信息显示，眉山琏升光伏科技有限公司取得一项名为“一种用于磁控溅射靶材更换的工作舱”的专利，授权公告号 CN 222182422 U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于磁控溅射靶材更换的工作舱，包括舱体主体，舱体主体为上开口结构，舱体主体内设有镂空地板，镂空地板将舱体主体内分为上方的工作空间和下方的负压空间，镂空地板上设有位于工作空间内的工作台，舱体主体上设有连通外界与负压空间的风机过滤机组舱体主体上设有连通外界与工作空间的舱门。本实用新型的有益效果：通过型材结合透明挡板隔绝工作台与外界，通过风机过滤机组、镂空地板将粉尘从平台下方抽走，避免粉尘传播，保证车间洁净度、良率、返工率不被影响的同时，减少了人员吸入ITO粉尘的风险。

来源：金融界