聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope，简称FIB-SEM)，通常被称为双束电镜（DB,Dual Beam），是一种集成了离子束加工和电子束成像的双束显微系统，具有高分辨率的成像能力

fib 离子束 离子源 冷冻fib ebsd 2025-04-04 09:38  1

电子是一种带电粒子, 其能量越高, 波长越短｡ 当电子的能量为100eV时,其波长仅为0.12nm，因此,电子束曝光可以获得非常高的分辨率｡

等离子体 刻蚀 离子束 半导体芯片 离子束刻蚀 2025-04-01 19:36  2

聚焦离子束显微镜（FIB-SEM）作为一种前沿的微观分析与加工工具，将聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）技术深度融合，兼具高分辨率成像和精密微加工能力，广泛应用于材料科学、电子工业、生命科学及纳米技术等领域，成为现代科研与工业不可或缺的重要设备。

显微镜 fib sem 离子束 离子束显微镜 2025-04-01 17:40  1

3D-IC和小芯片的概念让整个行业都为之兴奋。这可能标志着IP行业发展的下一个阶段，但到目前为止，技术难题和成本问题限制了它的应用范围，只有少数几家公司在使用。即使在这些公司中，他们似乎也没有从异构集成或复用中获得明显的益处。

大众 pcb 离子束 sram 信号电平 2025-03-25 09:12  3

FIB-SEM系统通过聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）两种互补技术，实现了材料的高精度成像与加工。FIB技术利用电透镜将液态金属离子源产生的离子束加速并聚焦，作用于样品表面，可实现纳米级的铣削、沉积、注入和成像操作。这种技术能够对样品进行精确的微

fib 电子显微镜 离子束 扫描电子显微镜 离子束扫描 2025-03-12 11:15  2

国家知识产权局信息显示，浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请一项名为“用于离子注入机的引出抑制机构”的专利，公开号 CN 119275080 A，申请日期为2024年12月。

中科 离子束 尚弘 2025-01-22 16:03  9

聚焦离子束（FIB）技术在半导体芯片制造领域扮演着至关重要的角色。它不仅能够进行精细的结构切割和线路修改，还能用于观察和制备透射电子显微镜（TEM）样品。

离子束 离子源 离子束技术 2025-01-10 10:45  12

双束聚焦离子束显微镜的关键在于其双束技术，离子束（FIB）用于样品的精确切割和蚀刻，而电子束（SEM）则捕捉样品的高分辨率图像。SEM垂直安装，FIB则以一定角度倾斜安装，两者之间形成52°的夹角，这种设计使得SEM能够提供高达100万倍的放大倍数，有效弥补了

fib 离子束 fib系统 2024-12-30 14:35  9

FIB，全名Focused Ion Beam，聚焦离子束，在芯片制造中十分重要。主要有四大功能：结构切割，线路修改，观察，TEM制样等。

fib 离子束 离子源 2024-12-09 13:56  13

聚焦离子束显微镜（FIB-SEM）是一种将聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）技术完美结合的综合性工具，具有高分辨率的成像能力和精确的微加工能力，成为现代科学研究与工业应用中的关键设备。

显微镜 离子束 离子束显微镜 2024-12-06 10:09  12