衬套

上海稷迪取得去胶反应腔体衬套的温度补偿装置专利，助力优化温度补偿

国家知识产权局信息显示，上海稷迪半导体设备有限公司取得一项名为“一种去胶反应腔体衬套的温度补偿装置”的专利，授权公告号 CN 222088543 U，申请日期为2024年1月。