清洗槽

晶圆清洗设备概述

晶圆经切割后,表面常附着大量由聚合物、光致抗蚀剂及蚀刻杂质等组成的颗粒物,这些物质会对后续工序中芯片的几何特征与电性能产生不良影响。颗粒物与晶圆表面的粘附力主要来自范德华力的物理吸附作用,因此业界主要采用物理或化学方法对颗粒物进行底切处理,通过逐步减小其与晶圆

晶圆 湿法 清洗槽 rca 盛美 2025-06-09 12:13  3

凸轮轴超声波清洗解决方案

凸轮轴是汽车发动机、船舶发动机等动力设备中的重要部件,它通过控制气门的开启和关闭时刻,确保发动机的正常运转。在凸轮轴的制造和维修过程中,其表面会附着各种油污、切削液残留、金属颗粒等杂质。这些杂质若不能被有效清除,将会影响凸轮轴的装配精度、润滑性能和使用寿命,进

超声波 工件 凸轮轴 凸轮轴超声波 清洗槽 2025-05-10 18:06  7