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爱柯锐PGT200M国产RGA：残余气体分析赋能半导体研究

在半导体制造、薄膜沉积及新材料开发领域，残余气体分析（RGA）是保障工艺稳定性与产品可靠性的核心技术。爱柯锐（ACT）自主研发的PGT200M残余气体分析仪，基于十年质谱研发积淀，以高灵敏度、多场景适配性及国产化成本优势，成为半导体在线分析、材料放气率测试及电