电子是一种带电粒子, 其能量越高, 波长越短｡ 当电子的能量为100eV时,其波长仅为0.12nm，因此,电子束曝光可以获得非常高的分辨率｡

等离子体 刻蚀 离子束 半导体芯片 离子束刻蚀 2025-04-01 19:36  2