中国科学院成功研发了全固态深紫外（DUV）激光，光源波长达到了193纳米，这项技术被认为是一次重大突破，甚至可能在未来改变光刻机的形态。

芯片 asml 光刻机 温宁 光电工程 2025-03-29 19:24  1