在设备环节，目前刻蚀设备的国产化率已超30%，中微公司、北方华创是其中的主力军；上海微电子、中国电科等公司，则在光刻机领域继续发力。

asml 垄断 光刻机 华特 乙硅烷 2025-03-29 18:37  2