脱气系统

上海良薇机电取得用于去除 TEOS 液体中 He 气的脱气系统及半导体工艺系统专利，实现对液态源的高效脱气

金融界 2025 年 3 月 28 日消息，国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司取得一项名为“一种用于去除 TEOS 液体中 He 气的脱气系统及半导体工艺系统”的专利，授权公告号 CN 222677256 U，申请日期为 2024 年 4 月。