东方晶源DR-SEM r655新品亮相，国产电子束检测设备再上新台阶！
在电子束检测技术的广阔天地里，东方晶源以其不懈的努力与卓越的创新力，成为了国产替代浪潮中的一颗璀璨明星。多年来，该企业深耕细作，不仅成功打破了电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM领域的国外垄断，更赢得了市场的广泛认可与赞誉。
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2025SEMICON CHINA ：东方晶源新品DR-SEM r655备受瞩目
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
东方晶源DR-SEM r655新品发布：国产电子束检测设备迈向新高度
在电子束检测技术的浩瀚领域中，东方晶源以其深厚的研发实力，成功在国产替代的道路上树立了新的里程碑。其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM，不仅打破了国外技术的垄断，更赢得了市场的广泛赞誉。
东方晶源DR-SEM r655：技术创新驱动国产检测设备升级
2023年初，东方晶源推出DR-SEM r600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEM r655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法
直击SEMICON CHINA｜东方晶源DR-SEM r655：技术创新驱动国产检测设备升级
2023年初，东方晶源推出DR-SEM r600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEM r655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法