近期，中科院上海光机所高功率激光元件技术与工程部魏朝阳研究员团队在激光高精度抛光机理及工艺研究中取得新进展。研究揭示了激光抛光后面形恶化的机理，并提出了激光双面抛光工艺提升加工精度。相关研究成果以“Formation mechanism and suppres

激光 上海 光机所 工艺 抛光机理 2025-06-06 15:01  2