聚焦电子束

聚焦电子束诱导加工（FEBIP）的起源

聚焦电子束诱导加工（Focused Electron Beam Induced Processing, FEBIP）是现代纳米制造领域的核心技术，该技术利用高能电子束与表面吸附分子间的相互作用，实现纳米尺度的精确加工，在科学研究与工业应用中占据重要地位。