一位荷兰工程师举着显微镜头，反复核验“阿里山”ALD设备的参数面板，喃喃自语：“±0.3Å的膜厚控制？这不可能……”

半导体 asml 土法炼钢 euv 紫外光 2025-06-09 10:12  3