从0到1！国产193纳米涡旋光束激光问世
这一突破性成果3月9日发表在光学专业期刊《Advanced Photonics Nexus》上，由中国科学院研究团队完成，为半导体制造技术提供了新的可能性，或打开我国光刻机技术全新突破口！
涡旋光束
科学家打造紧凑型固态激光系统，首次从中产生193nm涡旋光束
近日，来自中国科学院空天信息创新研究院和中国科学院大学的研究人员打造出一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统，该系统能在 6 kHz 的重复频率下生成 193 nm 的相干光，未来有望用于芯片光刻领域。
从0到1！国产193纳米涡旋光束激光问世，光刻技术有望弯道超车！
这一突破性成果3月9日发表在光学专业期刊《Advanced Photonics Nexus》上，由中国科学院研究团队完成，为半导体制造技术提供了新的可能性，或打开我国光刻机技术全新突破口！