nanosheet架构

GAA Nanosheet架构扩展之Forksheet

叉片式场效应晶体管（Forksheet FET)是在纳米片晶体管(Nanosheet FET)基础上将纳米片变为叉片式结构（fork structure)形成的一种新型器件架构。N/PFET通过电介质墙（dielectric wall）实现物理分离，使得NP