大国崛起(五):造芯片到底有多难-晶圆制备篇
最常见的晶圆材料是单晶硅(占90%以上),人们经常说芯片是沙子做的,主要原因是沙子中含有大量硅元素(地壳中占比26.3%)。当然实际制作芯片时不会直接采用沙子做原料,而是会采用高丰度的石英砂。
最常见的晶圆材料是单晶硅(占90%以上),人们经常说芯片是沙子做的,主要原因是沙子中含有大量硅元素(地壳中占比26.3%)。当然实际制作芯片时不会直接采用沙子做原料,而是会采用高丰度的石英砂。
通过单晶生长工艺获得的单晶硅锭,因硅材质硬脆特性,无法直接用于半导体芯片制造,需经过机械加工、化学处理、表面抛光及质量检测等一系列处理流程,才能制成具有特定厚度和精度要求的硅片。其中,针对硅锭的晶片切割工艺是芯片加工流程中的关键工序,其加工效率与质量直接影响整