碳化硅龙头股价一夜暴跌60%背后：产业洗牌进行时
有消息显示，持续亏损让Wolfspeed面临破产重整的困局。虽然公司目前尚未官宣是否重整，但这家曾经处在碳化硅衬底行业绝对龙头地位的公司如今走向这一结局，难免令人唏嘘。
碳化硅衬底
碳化硅衬底的湿法氧化
半导体碳化硅(4H-SiC)材料具有硬度高、脆性大、化学性质稳定等特点，一般使用化学机械抛 光工艺来加工 SiC 以获得超光滑平坦表面。湿法氧化作为单晶 SiC 化学机械抛光的重要过程，直接影 响着 CMP 的速率和表面质量。本文综述了目前单晶 SiC 湿法氧