住友化学开发出可适用于大规模量产 GaN-on-GaN 器件的 QF-HVPE 系统 住友化学（Sumitomo Chemical）开发出一种可大规模生产的无石英氢化物气相外延（QF-HVPE）系统，能够制造出据称在室温和低温下均创下迁移率纪录的氮化镓（GaN）材料。该材料已在 4 英寸独立式氮化镓衬底和 6 英寸蓝宝石模板上的氮化镓上进行了展 器件 住友化学 住友化学开发 气相外延 movpe 2025-05-26 08:50 4